国家知识产权局信息数据显现,南亚科技股份有限公司请求一项名为“电容器结构的构成办法”的专利,公开号CN121240441A,请求日期为2025年9月。
专利摘要显现,一种构成电容器结构的办法,包含以下过程:构成介电堆叠,介电堆叠包含替换堆叠的支撑层及模具层;在介电堆叠中构成沟槽;构成底部电极层,底部电极层衬在沟槽上;履行氧化工艺以氧化底部电极层的顶部分;一起移除底部电极层的顶部分及模具层;构成介电层,介电层衬在底部电极层及支撑层上;及在介电层上方构成顶部电极层。本发明的介电层及顶部电极层更简单填充于沟槽中,且底部电极层的电阻率保持在必定程度。
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