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开云体育平台:南亚科技请求电容器结构构成办法专利介电层及顶部电极层更简单填充于沟槽中
阅读量: 发布时间:2025-12-31 11:10:37
来源:开云体育平台
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  国家知识产权局信息数据显现,南亚科技股份有限公司请求一项名为“电容器结构的构成办法”的专利,公开号CN121240441A,请求日期为2025年9月。

  专利摘要显现,一种构成电容器结构的办法,包含以下过程:构成介电堆叠,介电堆叠包含替换堆叠的支撑层及模具层;在介电堆叠中构成沟槽;构成底部电极层,底部电极层衬在沟槽上;履行氧化工艺以氧化底部电极层的顶部分;一起移除底部电极层的顶部分及模具层;构成介电层,介电层衬在底部电极层及支撑层上;及在介电层上方构成顶部电极层。本发明的介电层及顶部电极层更简单填充于沟槽中,且底部电极层的电阻率保持在必定程度。

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